・蛍光X線膜厚測定機（HITACHI:SFT-110A）

・蛍光X線膜厚測定機（SII:SFT9200）

・硬さ試験機（Mitutoyo:HM-103）

・ICP分析装置（SII:SPS7800）

・デジタルマイクロスコープ（KEYENCE:VHX-1000）

・複合サイクル試験機（スガ試験機(株):CYP90）

・ボールオンディスク型摩擦摩耗試験機（CSM:トライボメータ）

・エネルギー分散型X線分析装置（HORIBA:EMAX ENERGY EX-350）

・S-3000型 走査型電子顕微鏡（HITACHI:S-3400N）

・偏光ゼーマン原子吸光光度計（HITACHI:Z-2700）

・イオンクロマトグラフィシステム（DIONEX:ICS-1500,ICS-2000）

・マイクロメーター（Mitutoyo:MDC-25MJ他）